CVD反应炉的种类

CVD反应炉的种类有以下几种：

1，热丝 Hot Filament

2，直流电弧喷射 DC Arc Jet

3，微波等离子 Microwave Plasma

     前二种适合生长多晶薄膜。微波分为2.45GHz及0.915GHz两种频率， 后者可以做到数十到百KW的功率，其托盘直径可达4-6英寸，较前者的生产效率（6KW，2英寸）高很多，大型设备是未来CVD炉的趋势。